365滚球确认
365滚球数据 接口

Shimadzu EPMA-1600电子探针X射线显微分析仪+能谱仪

Shimadzu EPMA-1600 Electron Probe Microanalyzer

仪器名称:365滚球数据 接口         

       :EPMA-1600+

生产厂家日本岛津公司

仪器简介:日本岛津公司的EPMA-1600型电子探针,由四道谱仪、八块分光晶体组成。此仪器不仅有较高的X射线检出角,同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体,能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率,并配有高稳定的电子光学系统,真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪,是目前最先进的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。

上面配有牛津OXFORD-INCA能谱仪

仪器主要特点及技术指标:

l  分析元素范围: 4Be~94Pu       电子束流稳定性:好于1.5×10-3/H

l  二次电子像分辨率:6nm         加速电压:0~30kV            X射线检出角:52.5°  

l  放大倍数:50×~300,000×        分析速度:自动全元素定性分析时间≤60s      

l  最大样品尺寸:100mm′100mm′50mm       样品台最小移动间距为0.01微米,机械系统精密度高

l  可观察二次电子像(SEI),背散射电子像(BEI),吸收电子像,光学显微像,X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察

仪器主要功能及其用途:

l  非破坏分析(分析时,被分析样品不会损坏,可以实现同点重复分析)、精细结构分析、能谱分析

l  微米尺度的空间分辨分析、轻元素的定量分析、元素的面分布分析、痕量元素的成分定量分析

l  适用于材料(陶瓷,合金,半导体材料等)以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析,微区化学组成线分析,微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等,是对试样微区组织结构,表面形貌观察及元素微区定量分析的最有效手段。